喷雾嘴及具有该喷雾嘴的涂敷系统;ATOMIZING NOZZLE AND COATING SYSTEM HAVING THE ATOMIZING NOZZLE

摘要

本发明系关于一种喷雾嘴及具有该喷雾嘴的涂敷系统，其中，该喷雾嘴主要包括至少一液体喷嘴、至少一气体喷嘴与一电压供给部。于本发明中，系操控该气体喷嘴喷射一气体，并使该气体在该液体之喷射路径上与该液体相互冲撞，藉此方式使得该液体一次微粒化；继续地，再操控该电压供给部，以施加一电压予该液体喷嘴，藉此方式于该液体喷嘴与一基板之间产生一电场，以透过该电场之作用使得该液体二次微粒化，使得二次微粒化的液体能够被喷出成均匀大小的微小液滴并于一基板之表面上形成一涂敷层。