狭缝宽度调整装置及显微镜雷射加工装置

摘要

揭露的是一种狭缝宽度调整装置，包含有：一对互相平行的狭缝构件，系可移动而互相接近或互相远离，以调整一狭缝宽度；一驱动部，用以将该对狭缝构件；一绝对位置原点侦测部，用以侦测该对等缝构件的一任意绝对位置，以做为一原点；以及一调整部，用以调整该狭缝宽度，其中该调整部包含有：一储存单元，用以储存一狭缝宽度表，其中该狭缝宽度距离该原点的一位移量与对应于该位移量的一驱动指令值，是互相对应的；以及一驱动控制部，用以指提取出对应于一指定狭缝宽度的驱动指令值，并根据该提取出之驱动指令值来驱动该驱动部。

主权项

一种狭缝宽度调整装置，包括：一对狭缝构件，互相平行，并可移动而互相接近或互相远离，以调整该对狭缝构件的狭缝宽度；驱动部，用以沿一方向移动该对狭缝构件，使其互相接近或沿一方向移动该对狭缝构件，使其互相远离；绝对位置原点侦测部，用以侦测该对狭缝构件中至少一者的一任意绝对位置做为原点，该绝对位置原点侦测部包含：本体部，设置在相对于该驱动部的固定位置，该本体部包含设置于该本体部中的固定尺标；以及移动单元，连接至主轴之一端，该主轴的纵向轴线定向于该对狭缝构件之移动方向，该主轴之另一端跟着受到该驱动部驱动之该对狭缝构件中至少一者的移动而一起移动，藉由比较该移动单元相对于该固定尺标的位置，该对狭缝构件中至少一者的任意绝对位置受到侦测而做为该原点；以及调整部，用以透过控制该驱动部的驱动而调整该狭缝宽度，其中该调整部包括：储存单元，用以储存狭缝宽度表，其中该狭缝宽度距离该原点的位移量与对应于该狭缝宽度距该原点之该位移量的该驱动部之驱动指令值，是互相对应的；以及驱动控制单元，用以指示该储存单元提取出对应于指定的狭缝宽度的该驱动部之该驱动指令值，以根据该提取出之驱动指令值来驱动该驱动部。