| 发明名称 | 反射器冷却水温控制装置 | ||
| 摘要 | 本发明创造提供反射器冷却水温控制装置，包括出水水箱、热电阻、温度控制仪、阀门和进水水箱，出水水箱通过出水管道与反射器的冷却水管相连，热电阻位于出水管道内，进水水箱通过进水管道与反射器的冷却水管相连，阀门位于进水管道内，温度控制仪通过信号线与热电阻相连，反射器冷却水温控制装置，克服了因手动调节反射器冷却水进水阀、产生水温波动，导致炉内温度梯度不稳定，造成单晶生长失败的困难，增加了冷却水水温反馈和自动调节进水流量的功能，从而有效提高了成晶率和合格率，降低了成本。本设计结构简单、安全可靠、便于操作、节能环保。 | ||
| 申请公布号 | CN104073873A | 申请公布日期 | 2014.10.01 |
| 申请号 | CN201410249260.2 | 申请日期 | 2014.06.06 |
| 申请人 | 天津市环欧半导体材料技术有限公司 | 发明人 | 刘嘉;王彦君;孙健;冯啸桐;乔柳;韩璐;由佰玲 |
| 分类号 | C30B13/28(2006.01)I | 主分类号 | C30B13/28(2006.01)I |
| 代理机构 | 天津滨海科纬知识产权代理有限公司 12211 | 代理人 | 杨慧玲 |
| 主权项 | 反射器冷却水温控制装置，其特征在于：包括出水水箱(1)、热电阻(2)、温度控制仪(3)、阀门(4)和进水水箱(5)，所述出水水箱(1)通过出水管道与反射器(6)的冷却水管相连，所述热电阻(2)位于所述出水管道内，所述进水水箱(5)通过进水管道与反射器(6)的冷却水管相连，所述阀门(4)位于所述进水管道内，所述温度控制仪(3)通过信号线与热电阻(2)相连。 | ||
| 地址 | 300384 天津市滨海新区高新区华苑产业园区（环外）海泰东路12号 | ||