一种纳米压印镍印章的制备方法

摘要

本发明公开了一种纳米压印镍印章的制备方法，先对铝材进行多步恒压阳极氧化，生成具有锥形孔洞的阳极氧化铝膜，然后通过化学镀使阳极氧化铝膜具有导电性，最后通过电铸制备出具有有序图案的镍印章。本发明获得的镍印章，纳米镍阵列高度有序，且形状可调、长度可调；利用本发明方法制备的镍印章可用于有序阳极氧化铝膜，生物芯片及纳米电子器件等制备。

主权项

一种纳米压印镍印章的制备方法，其特征在于，包括以下步骤： (1)对铝材进行去油，表面清洗及抛光处理； (2)在电解液中以铝材为阳极，惰性材料为阴极，通过电压源对铝材进行恒压阳极氧化，电压为100～200V，温度为0～10℃，在铝材上形成阳极氧化铝膜； (3)通过化学腐蚀完全去除阳极氧化铝膜，获得具有有序凹坑的铝材； (4)在电解液中以步骤(3)处理后铝材为阳极，惰性材料为阴极，通过电压源对铝材进行恒压阳极氧化，电压为100～200V，温度为0～10℃，在铝材上形成阳极氧化铝膜； (5)将步骤(4)得到的阳极氧化铝膜在质量百分比为1～30％磷酸中0～40℃下扩孔5～40分钟； (6)通过化学镀镍使步骤(5)中获得的阳极氧化铝膜导电化，得到导电阳极氧化铝； (7)在步骤(6)中获得的导电阳极氧化铝上电铸镍； (8)通过直接剥离法或化学腐蚀法去除阳极氧化铝和铝，获得具有锥形阵列的镍印章。