半导体装置

摘要

本发明提供一种具有高可靠性的半导体装置。半导体装置具有：元件区域，形成半导体元件；以及周边区域，夹着所述元件区域。周边区域具有第1绝缘层、第2绝缘层、场板电极、以及第1层。第1绝缘层从半导体层的第1位置到位于第1位置上方的第2位置被形成为筒状。第2绝缘层形成为从半导体层的第2位置到位于第2位置上方的第3位置，并且形成为比第1绝缘层薄且具有比第1绝缘层的内径大的内径的筒状。场板电极设置于第1绝缘层以及第2绝缘层的内侧，在上部具有凹部。第1层设置于凹部，由与场板电极不同的材料构成。

主权项

一种半导体装置，其特征在于，具备形成半导体元件的元件区域以及夹着所述元件区域的周边区域，所述周边区域具备：从半导体层的第1位置开始到位于所述第1位置上方的第2位置为止形成的筒状的第1绝缘层；从所述半导体层的所述第2位置开始到位于所述第2位置上方的第3位置为止形成的筒状的第2绝缘层，并且该第2绝缘层比所述第1绝缘层薄且具有比所述第1绝缘层的内径大的内径；设置于所述第1绝缘层以及所述第2绝缘层的内侧，在上部具有凹部的场板电极；以及设置于所述凹部，由与所述场板电极不同的材料构成的第1层。