一种基于偏心结构的三自由度精密调节装置

摘要

本发明公开了一种基于偏心结构的三自由度精密调节装置。运动平台沿周面均布延伸有三个沿运动平台径向的支撑臂，三个支撑臂的臂端均开有偏心孔，三个支撑臂的偏心孔各通过结构相同的运动支链连接在安装基板上；用于定位安装基板的预压组件、定位组件安装在主机板底面，定位组件和三个预压组件环绕在运动支链之间的安装基板侧面，三个水平向位移测量组件固定安装在定位组件侧面的主机板底面。本发明用以实现浸没式光刻机浸没单元的安装固定和空间位姿调节，实现浸没单元亚微米级定位；本发明刚度高，调节范围大，运动响应快，采用模块化设计，结构紧凑，装配调整简易，能用于浸没式光刻机以外其它场合下的三自由度精密调节。

主权项

一种基于偏心结构的三自由度精密调节装置，该调节装置（S2）安装在主机板（1）与浸没单元（S3）之间，其特征在于：该调节装置（S2）包括三个预压组件（12）、定位组件（10）、三个水平向位移测量组件（11）、安装基板（4）、运动平台（8）和三个运动支链，运动平台（8）沿周面均布延伸有三个沿运动平台（8）径向的支撑臂，三个支撑臂的臂端均开有偏心孔（8B），三个支撑臂的偏心孔（8B）各通过结构相同的运动支链连接在安装基板（4）上；用于定位安装基板（4）的预压组件（12）、定位组件（10）安装在主机板（1）底面，定位组件（10）和三个预压组件（12）环绕在运动支链之间的安装基板侧面（4B），三个水平向位移测量组件（11）固定安装在定位组件（10）侧面的主机板（1）底面。