用于将反应排出气体冷却之方法及系统

摘要

于一具体例中，一种用于将反应排出气体冷却之方法包括将一充分量之合适的矽来源冷却气体进料至反应排出气体流之内，其中该反应排出气体系藉由一反应器内的至少一种矽来源气体之热分解所产生，以及其中该充分量之合适的矽来源冷却气体系根据该反应排出气体内的至少一个化学物种之浓度予以界定；将该反应排出气体冷却至足够的温度以使得：该经冷却之反应排出气体能够由一材料来处理，其不适合用于处理该反应排出气体。

主权项

一种用于将反应排出气体冷却之方法，其包含：a)　将一充分量之合适的矽来源冷却气体进料至反应排出气体流之内，i)　其中该反应排出气体系藉由一反应器内之至少一个矽来源气体的热分解所产生，ii)　其中该反应排出流系于局限的区域内移动，iii)　其中该合适的矽来源冷却气体包含存在于该反应排出气体内的至少一个化学物种，以及iv)　其中该充分量之合适的矽来源冷却气体系根据该反应排出气体内的至少一个化学物种之浓度予以界定；b)　将该反应排出气体冷却至足够的温度以使得：i)　该经冷却之反应排出气体流内的该至少一个矽来源气体之热分解的速率系低于百分之5，以及ii)　该经冷却之反应排出气体能够由一材料来处理，该材料不适合用于处理该反应排出气体；以及c)　其中该足够的温度系介于大约摄氏450度与大约摄氏700度之间的温度范围。