发明名称 |
可校正光束成形系统及方法;CALIBRATABLE BEAM SHAPING SYSTEM AND METHOD |
摘要 |
一种光束成形系统,该系统包括:第一光学模组及第二光学模组,该等光学模组以距离隔开的关系安置在光通过系统之光学路径中以对入射在该等光学模组上之光顺序地应用光束成形。光束成形系统包括第一对准模组及第二对准模组,该等对准模组分别携带第一光学模组及第二光学模组且可操作用于相对于光学路径侧向定位光学模组。光束成形系统之校正模组可连接至第一对准模组及第二对准模组且可操作以顺序地校正且对准第一光学模组及第二光学模组相对于光学路径之各个侧向位置。因此,系统使得给定预定波前及侧向强度分布之入射光束之成形成为可能,以形成具有期望波前及期望侧向强度分布之输出光束。 |
申请公布号 |
TW201437683 |
申请公布日期 |
2014.10.01 |
申请号 |
TW102123029 |
申请日期 |
2013.06.27 |
申请人 |
应用材料以色列公司 |
发明人 |
克利薛尔宾亚;艾达尔汉姆 |
分类号 |
G02B27/09(2006.01) |
主分类号 |
G02B27/09(2006.01) |
代理机构 |
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代理人 |
<name>蔡坤财</name><name>李世章</name> |
主权项 |
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地址 |
以色列 |