产品轮廓制程能力验证系统及方法

摘要

一种产品轮廓制程能力验证系统。该系统利用复数模组实现下述操作：获取N组点云，选择其中的第一组点云，计算该第一组点云中每一个点距离一个理论轮廓线的距离，从而得到该每一个点的偏差值，并记录理论轮廓线上对应的最近点；获取上述第一组点云中的每个点与理论轮廓上对应的最近点所组成的直线与其他N-1组点云所组成轮廓线的交点；计算该各个交点到理论轮廓线的距离，从而得到该每个交点的偏差值；根据第一组点云与上述各个交点中的每个点的偏差值拟合出5条轮廓。

主权项

一种产品轮廓制程能力验证方法，包括：获取N组产品轮廓的点云，其中，所述N取大于1的正整数；选择其中的第一组点云，计算该第一组点云中每个点距离一个理论轮廓线的距离，从而得到该每个点的偏差值，并记录理论轮廓线上对应的最近点；获取上述第一组点云中的每个点与理论轮廓上对应的最近点所组成的直线与其他N-1组点云所组成的各个轮廓线的交点；计算该各个交点到上述理论轮廓线的距离，从而得到该每个交点的偏差值；及根据上述第一组点云与上述各个交点中的每个点的偏差值拟合出至少一条轮廓。