具有聚合性阴离子之硫鎓盐及高分子化合物、光阻材料及图型之形成方法

摘要

本发明系一种以一般式(1)所示之硫鎓盐。;(1);(R1系H、F、甲基或三氟甲基。R2、R3及R4系C1~10之烷基、烯基或侧氧烷基、或C6~18之芳基、芳烷基或芳基侧氧烷基、或者R2、R3及R4之中的任2个以上可相互键结而与式中的硫原子一起形成环。A系C1~20之2价的有机基。n系0或1)。;本发明之具有聚合性阴离子的硫鎓盐，系因藉由高能量线照射而产生非常强的磺酸之故，而能效率佳地切断化学增幅型光阻材料中的酸不稳定基，且有用于作为制造敏辐射线光阻材料之基底树脂用之单体。使用本发明之高分子化合物作为敏辐射线光阻材料之基底树脂时，在高解像性与疏密依赖性及曝光余裕(exposure margin)上表现优异。

主权项

一种下述以一般式(1)所示之硫鎓盐，(式中，R1表示氢原子、氟原子、甲基或三氟甲基；R2、R3及R4相互独立地表示非取代之碳数1~10的直链状或分支状之烷基、碳数2~10的烯基或侧氧烷基、或苯基、萘基、噻吩基、4-羟基苯基、4-甲氧基苯基、3-甲氧基苯基、2-甲氧基苯基、4-乙氧基苯基、4-tert-丁氧基苯基、3-tert-丁氧基苯基、2-甲基苯基、3-甲基苯基、4-甲基苯基、4-乙基苯基、4-tert-丁基苯基、4-n-丁基苯基、2,4-二甲基苯基、甲基萘基、乙基萘基、甲氧基萘基、乙氧基萘基、二甲基萘基、二乙基萘基、二甲氧基萘基、二乙氧基萘基，或者R2、R3及R4之中的任二个以上可相互键结而与式中的硫原子一起形成环；A表示可含氧原子之碳数1~20的二价有机基；n表示0或1)。