衬底保持器和制造衬底保持器的方法

摘要

用于光刻设备的对象保持器(100)具有主体(400)，该主体具有表面(400a)。在该表面上或在薄膜叠层的孔径(410、440、450)中形成用于支撑对象的多个突节(406)。通过激光烧结形成突节中的至少一个。通过激光烧结形成的突节中的至少一个可以是先前通过激光烧结或另一方法形成的损坏突节的修复。

主权项

一种制造用于在光刻设备中使用的对象保持器的方法，所述方法包括：提供具有表面的主体；以及在所述表面上形成多个突节，所述突节从所述表面突出并且具有支撑对象的端表面，其中形成所述突节的至少一个突节的至少一部分包括激光烧结。