| 摘要 |
本发明的课题系在于提供从分解气体更确实地除去酸成分，并且能够减少用来乾式除去酸成分的药剂之消耗量的全氟化物的处理装置等。用以解决课题之手段为，一种全氟化物的处理装置(2)，其特征为具备有：加热手段(第1加热器(221)、第2加热器(222))，该加热手段为用来加热装置入口排废气及水，并且藉由预先所决定的触媒，将全氟化物予以加水分解而产生包含HF的分解气体；热交换器(231)，该热交换器系配置在加热手段的前段及后段，在装置入口排废气及水与分解气体之间进行热交换；酸成分除去装置(232)，该酸成分除去装置系藉由药剂，从分解气体乾式除去HF；HF浓度感测器(236)，该HF浓度感测器用来检测自酸成分除去装置(232)流出的排废气所含的HF浓度；及控制单元(24)，该控制单元系进行对酸成分除去装置(232)所进行的药剂之排出及供给的控制。 |
