发明名称 氟固定剂与PFC分解处理剂及其调制方法、PFC处理装置与含PFC之气体的处理方法
摘要 本发明提供一种耐久性及全氟化合物处理性能佳,且可有效率地回收氟之氟固定剂及其调制方法。;本发明系一种氟固定剂的调制方法以及藉由该调制方法所得之氟固定剂,其特征为:系于比430℃还高且890℃以下的温度范围内,于氮气流或空气流中,对平均粒径60μm以上160μm以下之Al(OH)3(氢氧化铝)、与Ca(OH)2(氢氧化钙)的莫耳比为3:7至5:5之混合物进行锻烧。
申请公布号 TWI454305 申请公布日期 2014.10.01
申请号 TW097126026 申请日期 2008.07.10
申请人 荏原制作所股份有限公司 日本 发明人 森洋一;驹井哲夫;郡山日出人;筱原豊司
分类号 B01D53/86;B01D53/68;B01D53/70;B01J23/02;B01J21/04 主分类号 B01D53/86
代理机构 代理人 洪武雄 台北市中正区杭州南路1段15之1号9楼;陈昭诚 台北市中正区杭州南路1段15之1号9楼
主权项 一种氟固定剂的调制方法,其特征为:于比430℃还高且890℃以下的温度范围内,于氮气流或空气流中,对平均粒径(中位数粒径)60μm以上160μm以下之Al(OH)3、与Ca(OH)2的莫耳比为3:7至5:5之混合物进行锻烧。
地址 日本