使用滑移平面接近开关之惯性感测器;INERTIAL SENSOR USING SLIDING PLANE PROXIMITY SWITCHES

摘要

一种时域惯性感测器包含：一支撑结构，具有一电极平面，平行于一x-y-z相互正交座标系统的一x-y平面，其中支撑结构的最大维度位于x-y平面内；一保证质量，具有平行于x-y平面的一第一表面；其中保证质量系弹性地耦接至支撑结构，使得第一表面被一间隙与电极平面隔开；一驱动器，配置以驱动保证质量以大约只在x方向上相对于支撑结构振荡，使得间隙在振荡时不会显着变化；及一第一时域接近开关，设置以每当保证质量在相对于支撑结构的一第一参考位置时从一打开状态切换至一关闭状态。