| 摘要 |
本发明提供一种用于离子植入装置之高电压电极的绝缘结构,其为适合离子植入装置之高电压电极的绝缘结构。该高电压电极的绝缘结构具备:绝缘体(126),其具备露出表面(128);以及导体部(130),其具备与绝缘体(126)相接之接合区域(138)、及沿接合区域(138)的边缘部(142)的至少一部份而设之耐热部(150)而使得与绝缘体(126)的露出表面(128)相邻。耐热部(150)由熔点高于导体部(130)的导电材料形成。耐热部(150)可以以与绝缘体(126)的露出表面(128)留有间隙之方式配置。 |
