电致发光装置之电极基板的制作方法以及电致发光装置的制作方法;MANUFACTURING METHOD OF ELECTRODE SUBSTRATE FOR ELECTROLUMINESCENT DEVICE AND MANUFACTURING METHOD OF ELECTROLUMINESCENT DEVICE

摘要

一种电致发光装置之电极基板的制作方法包括下列步骤。于基板上形成至少一第一电极与至少一第二电极。形成一金属层,覆盖第一电极、第二电极以及基板。于金属层上形成一非结晶(amorphous)透明导电层。对非结晶透明导电层进行一图案化制程,以形成一非结晶透明导电图案。对非结晶透明导电图案进行一结晶化制程,以使非结晶透明导电图案转变为一结晶化透明导电图案。以结晶化透明导电图案为遮罩,将未被结晶化透明导电图案覆盖之金属层移除,以于第一电极上形成至少一第一金属电极垫以及至少一金属辅助电极,并于第二电极上形成至少一第二金属电极垫。