修整器之研磨部材上之滑动距离分布之取得方法、修整器之研磨部材上之滑动向量分布之取得方法、及研磨装置;METHOD OF OBTAINING A SLIDING DISTANCE DISTRIBUTION OF A DRESSER ON A POLISHING MEMBER, METHOD OF OBTAINING A SLIDING VECTOR DISTRIBUTION OF A DRESSER ON A POLISHING MEMBER, AND POLISHING APPARATUS

摘要

本发明提供一种取得高精度之研磨部材的轮廓之方法。本方法包含以下工序，即藉由将修整器与研磨部材之相对速度乘上两者之接触时间，来算出修整器之滑动距离的增量，藉由将算出之滑动距离的增量乘上至少1个修正系数，来修正滑动距离之增量，藉由随时间经过将修正后之滑动距离的增量重复相加而算出滑动距离，从获得之滑动距离与滑动距离算出点之位置生成修整器之滑动距离分布。上述至少1个修正系数包含就滑动距离算出点所设之凹凸修正系数。凹凸修正系数系用于使形成于研磨部材表面之凸部的切削量与凹部的切削量之差异反映到研磨部材之轮廓的修正系数。