空气离子清洗装置;AIR PLASMA CLEANER DEVICE

摘要

本发明用于提供一种空气离子清洗装置，该空气离子清洗装置包括有气体输入装置、平板电极，置于平板电极间的电磁阀、高压射频电压源、多个支撑部，及两个抽真空装置，该支撑部用于放置待清洗的图像感测器，该气体输入装置用于向平板电极之间输入混合气体，该高压射频电压源用于游离平板电极之间的气体，产生带电的气体组合，该带电的气体组合流向至图像感测器表面以使该图像感测器的表面带电，及使得该图像感测器表面的离子被离子化为带电离子，该抽真空装置用于将图像感测器表面带电的离子抽离到外部吸集器。