硅片存放管理方法

摘要

本发明提供了一种硅片存放管理方法，包括：将RFID标签贴于白卡上，而且将白卡放入塑料袋中，并且将塑料袋贴于晶片逸输盒的表面；将虚拟标识编码分配给RFID标签，以使得每个RFID标签对应于唯一虚拟标识编码；将晶片逸输盒放置在硅片分拣机的第一硅片传输端口处，并且将晶片传送盒放置在硅片分拣机的第二硅片传输端口处，由此借助于硅片分拣机通过读取RFID标签来获取相应的唯一虚拟标识编码而在硅片分拣机上进行自动硅片传片。本发明提供了一种能够在制造执行系统上实现对晶片逸输盒中的硅片进行在线传片的硅片存放管理方法。本发明能够避免由于人为疏忽而造成的选片错误并进而造成事故，而且能够避免由于人为疏忽而造成的硅片信息不精确。

主权项

一种硅片存放管理方法，其特征在于包括：将RFID标签布置至晶片逸输盒；将虚拟标识编码分配给RFID标签，以使得每个RFID标签对应于唯一虚拟标识编码；将晶片逸输盒放置在硅片分拣机上，以借助于硅片分拣机通过读取RFID标签而获取相应的唯一虚拟标识编码，在硅片分拣机上进行自动硅片传片。