一种双工艺接口热管的固态工质充装设备及充装方法

摘要

本发明涉及一种双工艺接口热管的固态工质充装设备，包括手套箱、工质罐、上盖、惰性气源、真空分子泵机组、加热器和冷却器等，首次采用双工艺接口设计，主工艺口既是抽真空接口和惰性气体通路接口，又是工质的充入口，副工艺口既是抽真空接口，又是惰性气体通路接口，使热管和工艺罐的排气通道增大一倍，排气抽真空更顺畅，充装量程可根据需要而扩大，此外还增加了气枕、筛筒，并对冷却器和加热器进行了创新设计，同时对充装工艺过程进行了优化，实现了热管充装量程可按需扩大、充装时管路无工质残留、工艺更稳定、工质纯度更高、后处理更方便、热管性能更优异、寿命更长等目的。

主权项

一种双工艺接口热管的固态工质充装设备，其特征在于：包括工质罐(4)、上盖(8)、惰性气源(31)和真空分子泵机组，其中上盖(8)位于工质罐(4)上方，上盖(8)上的工艺口分别与惰性气源(31)和真空分子泵机组连通，待充装热管(1)包括两个工艺口，分别为主工艺口与副工艺口，通过主工艺口将待充装热管(1)与工质罐(4)的底部连通，使得主工艺口既是抽真空接口和惰性气体通路接口，又是工质的充入口，通过副工艺口将待充装热管(1)与惰性气源(31)和真空分子泵机组连通，使得副工艺口既是抽真空接口，又是惰性气体通路接口。