一种直写式光刻系统的FPGA中倾斜数据准备的方法

摘要

本发明公开了一种直写式光刻系统的FPGA中倾斜数据准备的方法，包括以下步骤：首先将上位分图计算机输出的灰度图数据按扫描行格式存放到DDR中；在灰度图数据达到一定的行数后，FPGA中控制模块控制从DDR中按倾斜因子N制定的间距读取数据并经数据总线到FPGA的RAM中缓冲；FPGA中控制模块再按倾斜因子N制定的格式从FPGA的RAM中读出倾斜后数据，输入到转换矩阵进行灰度的转换和扫描数据的抽取；转换后的数据经数据总线再存入FPGA的RAM中缓冲，并等待在下一个操作周期时写入DDR的微镜DMD扫描显示数据区。本发明节省上位分图计算机对位图数据的处理，增加了分图数据处理能力；发挥FPGA处理位数据能力，加快了倾斜扫描速度；FPGA资源利用率高。

主权项

一种直写式光刻系统的FPGA中倾斜数据准备的方法，包括以下步骤：（1）首先将上位分图计算机输出的灰度图数据按扫描行格式存放到DDR中；其特征在于，（2）在灰度图数据达到一定的行数后，FPGA中控制模块控制从DDR中按倾斜因子N制定的间距读取数据并经数据总线到FPGA的RAM中缓冲；（3）FPGA中控制模块再按倾斜因子N制定的格式从FPGA的RAM中读出倾斜后数据，输入到转换矩阵进行灰度的转换和扫描数据的抽取；（4）转换后的数据经数据总线再存入FPGA的RAM中缓冲，并等待在下一个操作周期时写入DDR的微镜DMD扫描显示数据区。