描绘装置、曝光描绘装置、记录程式的记录媒体及描绘方法;DRAWING DEVICE, EXPOSURE DRAWING DEVICE, DRAWING METHOD AND STORAGE MEDIUM STORING PROGRAM

摘要

本发明为一种描绘装置。该描绘装置包括：获取部，获取下述座标资料：表示设置于被曝光基板的作为多个基准标记于设计上的位置的第1位置的座标资料、表示以第1位置为基准而规定的描绘于被曝光基板上的描绘图案的座标资料、及表示作为多个基准标记的各自的实际的位置的第2位置的座标资料；导出部，根据第1位置及第2位置而导出表示被曝光基板的应变的大小的物理量，且对多个基准标记的每一个导出针对第1位置及第2位置的偏离的修正量；降低部，物理量越大，则从由导出部导出的各修正量降低越多的量；以及修正部，在以第2位置为基准而对被曝光基板描绘上述描绘图案的情况下，根据由降低部降低后的修正量来修正表示描绘图案的座标资料。