检测方法、检测处理系统、处理装置、检测装置、制造／检测装置及制造／检测方法;INSPECTION METHOD, INSPECTION PROCESSING SYSTEM, PROCESSING APPARATUS, INSPECTION APPARATUS, MANUFACTURING/INSPECTION APPARATUS AND MANUFACTURING/INSPECTION METHOD

摘要

目的在于提供一种检测方法，其对于搬送线上流动之多数薄板进行特定次数(N次)之特定处理时，不会产生很大之时间延长，在N次处理全部结束前，可以把握中途之处理(第n次处理)之检测结果。检测被进行特定处理完成之对象物的检测方法，其特征为具备：处理工程，系将多数之上述对象物搬送于搬送线上之同时，针对各个上述对象物依序重复进行N次(N为2以上之自然数)之上述特定处理；及检测工程，上述多数对象物之中，针对第n次(n为N以下之1以上之自然数)处理结束之前头之上述对象物进行检测，使检测后之上述对象物回至上述多数对象物之中上述第n次之处理结束的对象物之后。