微机电动态检测装置;DYNAMIC MEASUREMENT DEVICE WITH MEMS SENSORS

摘要

本发明系一种微机电动态检测装置，其包含有一处理器、一微机电感测模组、一记忆模组与一无线接收器，微机电动态检测装置系装设于一旋转轴上，无线接收器接受外部的遥控讯号而令处理器控制微机电感测模组进行资料取样，微机电感测模组系利用微机电技术将加速度规、陀螺仪、温度感测器整合于同一元件，以分别量测该旋转轴的轴向振动值、旋转偏摆值及温度值，再存入记忆模组中；由于微机电元件体积小、质量轻并易于安装，透过遥控方式启动不需额外设置线路，藉此解决现有量测装置无法同时侦测偏摆位移量与振动量以及电线缠绕的问题。