| 发明名称 |
具有方位角与径向分布控制的多区域气体注入总成;MULTI-ZONE GAS INJECTION ASSEMBLY WITH AZIMUTHAL AND RADIAL DISTRIBUTION CONTROL |
| 摘要 |
一种气体注入系统包括：(a)一侧部气体气室；(b)耦接于该侧部气体气室的复数N个气体入口；(c)从该气室径向向内延伸的复数个侧部气体出口；(d)一N通道气体流率控制器，该N通道气体流率控制器具有N个输出系分别耦接于该等N个气体入口；及(e)一M通道气体流率控制器，该M通道气体流率控制器具有M个输出，该等M个输出的个别一者耦接于该可调整的气体喷嘴与该N通道气体流率控制器的一气体输入。 |
| 申请公布号 |
TW201437422 |
申请公布日期 |
2014.10.01 |
| 申请号 |
TW103105345 |
申请日期 |
2014.02.18 |
| 申请人 |
应用材料股份有限公司 |
发明人 |
洛正佐硏;坦汀汪凯尔;尤瑟夫以马德;肯纳席克弗拉德米尔;济汀伯珍纳;巴那沙莫 |
| 分类号 |
C23C16/455(2006.01);C23C16/54(2006.01) |
主分类号 |
C23C16/455(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
<name>蔡坤财</name><name>李世章</name> |
| 主权项 |
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| 地址 |
美国 |
