用于处理颗粒材料之方法及装置;METHOD AND APPARATUS FOR PROCESSING PARTICULATE MATERIAL

摘要

一种装置及方法，其系用以安排一前驱物蒸气流沿着在一垂直原子层沉积(ALD)匣体之区中的一上至下垂直通道通过该匣体，以及用实质从该垂直通道延伸至该匣体之一侧壁的一带螺纹区，使待ALD加工的颗粒材料在该匣体中旋转时向上移动，以及沿着该垂直通道向下移动以造成该颗粒材料在ALD加工期间循环。