电热管气相沉积装置

摘要

本发明公开了一种电热管气相沉积装置，包括高温炉，所述高温炉的前侧设有回转机构，所述回转机构包括转筒、连接转筒的转轴以及连接转轴的电机，所述高温炉的前侧面设有通孔，所述转筒穿过通孔伸入高温炉加热腔中，所述转筒包括筒体和设置于筒体端面的若干根固定杆，所述固定杆上穿设石英玻璃管，所述高温炉左侧设有曲柄滑块机构，所述曲柄滑块机构连接高压喷枪，所述高压喷枪上的进液口通过软管连接储液瓶，所述高压喷枪上的进气口通过软管连接高压气泵，所述高温炉的左侧面上设有缺口，所述高压喷枪的喷雾口穿过缺口伸入高温炉加热腔中且曲柄滑块机构驱动高压喷枪使喷雾口在缺口内做直线往复运动。本发明生产效率高，有利于工人的健康。

主权项

电热管气相沉积装置，包括高温炉(1)，其特征在于：所述高温炉的前侧设有回转机构(2)，所述回转机构包括转筒(201)、连接转筒的转轴(202)以及连接转轴的电机(203)，所述高温炉的前侧面设有通孔(101)，所述转筒穿过通孔伸入高温炉加热腔中，所述转筒包括筒体(201a)和设置于筒体端面的若干根固定杆(201b)，所述固定杆上穿设石英玻璃管，所述高温炉左侧设有曲柄滑块机构(3)，所述曲柄滑块机构连接高压喷枪(4)，所述高压喷枪上的进液口通过软管连接储液瓶(5)，所述高压喷枪上的进气口通过软管连接高压气泵(6)，所述高温炉的左侧面上设有缺口(102)，所述高压喷枪的喷雾口穿过缺口伸入高温炉加热腔中且曲柄滑块机构驱动高压喷枪使喷雾口在缺口内做直线往复运动。