| 发明名称 | 蚀刻液组合物 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种用于含In、Al及Mo的三重膜的蚀刻液组合物，所述蚀刻液组合物包含相对于所述组合物总重量的45～70重量％的磷酸、2～10重量％的硝酸、5～25重量％的醋酸、0.01～3重量％的含氟化合物、0.1～5重量％的磷酸盐及剩余的水。 | ||
| 申请公布号 | CN102597162B | 申请公布日期 | 2014.10.01 |
| 申请号 | CN201080049609.8 | 申请日期 | 2010.10.27 |
| 申请人 | 东友 FINE-CHEM 股份有限公司 | 发明人 | 梁承宰;李昔准;权五柄 |
| 分类号 | C09K13/08(2006.01)I;C23F1/20(2006.01)I;H05K1/02(2006.01)I | 主分类号 | C09K13/08(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人 | 张颖玲;孟桂超 |
| 主权项 | 一种用于含ITO、Al及Mo的三重膜的蚀刻液组合物，其特征在于，所述蚀刻液组合物包含相对于所述组合物总重量的45～70重量％的磷酸、2～10重量％的硝酸、5～25重量％的醋酸、0.01～3重量％的含氟化合物、0.1～5重量％的磷酸盐、及剩余的水；其中，所述含氟化合物是能离解氟离子或多原子氟离子的化合物，其中，所述含ITO、Al及Mo的三重膜是包含ITO膜、含铝金属膜及含钼金属膜的三重膜，其中，所述含铝金属膜是铝膜或铝合金膜。 | ||
| 地址 | 韩国全罗北道 | ||