多层式负戴锁定室与传送腔及适于接合上述的机械臂

摘要

本发明系揭露一种用以处理基材的新式设备。具有4个环境隔离室的多层式负载锁定室系与具有机械组件的传送腔接合。机械组件具有二臂手，当机械组件顺着其轴转动时，各个臂手可独立地水平及垂直移动。臂手可延伸到负载锁定室的隔离室中而自下方隔离室接收基材、传送基材至处理室、接着将基材放置到上方隔离室。负载锁定室中的隔离室可具有枢接上盖，其可打开以进入隔离室内部。

主权项

一种负载锁定室，其至少包含：一单一室体；一第一室与一第二室，以一侧向分隔关系形成在该室体中；一第三室与一第四室，以一侧向分隔关系形成在该室体中，且位在该第一室与该第二室下方，该第一室、该第二室、该第三室、和该第四室中之每一者系彼此为环境分隔且各个室具有一室开口；一上方狭单一阀门，用以密封该第一室与该第二室的该些室开口；一下方狭单一阀门，用以密封该第三室与该第四室的该些室开口；以及一基材支撑件，分别位于各个室中。