发明名称 用于管理使用液体环式泵之流体的系统及方法
摘要 一种用于化学药品管理的方法与系统。在一具体实施例中,掺合器系与处理系统连结并进行构形成将适当的单一溶液或复数个溶液供应至系统。由掺合器所提供的溶液接着从系统回收且随后再行导入以重复使用。于溶液再行导入系统用于重复使用前,可操作掺合器以控制溶液内的各个成份的浓度。可对某些导入系统的化学药品加以温度控制。后端真空泵浦次系统可从液体中分离气体以作为废弃物管理系统的一部份。
申请公布号 TWI454682 申请公布日期 2014.10.01
申请号 TW096117196 申请日期 2007.05.15
申请人 液态空气乔治斯克劳帝方法研究开发股份有限公司 法国 发明人 卡尔J 尤魁哈特;乔治 古亚内利;尚 路易斯 马克;诺伯特 法加特;劳伦特 兰杰利尔;克里斯多 寇林
分类号 G01N1/14;G01N31/00;H01L21/304 主分类号 G01N1/14
代理机构 代理人 桂齐恒 台北市中山区长安东路2段112号9楼;阎启泰 台北市中山区长安东路2段112号9楼
主权项 一种真空泵浦系统,其包含有:一以流动方式连结至一处理站之复数个流体出口之至少其中一个的真空管线;一具有一吸入接口之液体环式泵,该吸入接口系连结至该真空管线以接受从该等复数个流体出口所移除的一或多个流体所形成之一进入多相物流;一储槽,该储槽系连结至该液体环式泵的一排放接口且包含有一或多个构形成用于从藉该液体环式泵经由该排放接口所输出的一多相物流中移除液体的装置;以及一配置在该液体环式泵上游之该真空管线中的压力控制系统,其中,该压力控制系统系构形成在该真空管线中根据在该处理站内的一所欲压力而维持一目标压力;以及一化学药品浓度控制系统,其系构形成:监测包含于该储槽内且馈入该液体环式泵中以用于该液体环式泵操作的一密封流体浓度;且将该密封流体引导至复数个放流之其中一个,系基于所补充之该密封流体而选择该放流。
地址 法国