发明名称 |
等离子体坩埚的密封 |
摘要 |
一种等离子体坩埚(92)具有通孔(93)和紧挨着被密封到坩埚的端面(901,902)上的两根管(981,982)。在填充坩埚前,封闭一根管(981)。由于在去尖时管上没有压力差,其可以在玻璃机床上实现以使其形成平端(983)。抽真空后,投料并填充气体,另一根管(902)以类似的方式被去尖。 |
申请公布号 |
CN102388430B |
申请公布日期 |
2014.10.01 |
申请号 |
CN201080008889.8 |
申请日期 |
2010.02.22 |
申请人 |
塞拉维申有限公司 |
发明人 |
A·S·尼特;B·普雷斯顿;E·C·奥德尔;A·萨迪克;H·桑德 |
分类号 |
H01J9/395(2006.01)I;H01J9/40(2006.01)I;H01J65/04(2006.01)I |
主分类号 |
H01J9/395(2006.01)I |
代理机构 |
北京泛华伟业知识产权代理有限公司 11280 |
代理人 |
王勇 |
主权项 |
一种密封被填充等离子体坩埚的方法,包括以下步骤:·提供具有通孔的透明材料的等离子体坩埚;·将初始的管气密密封至与通孔的一端连通的坩埚,将所述初始的管密封至留出敞开的中空,该中空具有开口;·提供从坩埚的开口延伸出来的可熔化为透明材料的材料的另一管且将该另一管气密密封至与中空连通的坩埚;·经由该管加入可激发材料到中空内;·经由该管对中空抽真空;·经由该管引入惰性气体到中空内;和·通过在开口或靠近开口处密封管来密封该中空,包封可激发材料和惰性气体。 |
地址 |
英国米尔顿凯恩斯 |