| 摘要 |
本发明提供一种成膜装置，其可抑制由阀体产生之按压力变得不均匀。本发明的成膜装置(100)具备：交叉管(32)，沿阀体(9)的长边方向(D1)延伸而连接于阀体(9)；扭杆(31)，一部份进入到交叉管(32)的内部；以及旋转驱动部(4)，对扭杆(31)赋予旋转驱动力。并且，扭杆(31)在阀体(9)的长边方向(D1)的位置藉由紧固部(34)紧固于交叉管(32)。因此，藉由旋转驱动部(4)赋予给扭杆(31)之旋转驱动力经由该扭杆(31)，在阀体(9)的长边方向(D1)上的位置传递给交叉管(32)。因此，经由沿阀体(9)的长边方向(D1)延伸之交叉管(32)，该旋转驱动力向长边方向(D1)的两侧均衡地传递给阀体(9)。 |
