| 摘要 |
本发明提供一种提高低温泵的气体吸藏量之低温泵及真空排气方法。本发明的低温泵(10)具备：第1低温板(18)，具备放射屏蔽件(30)和横贯屏蔽件开口(26)之板构件(32)；以及第2低温板(20)，被第1低温板(18)包围，冷却成温度低于第1低温板(18)。板构件(32)具备：板主体部(50)；以及板外缘部，用于将板主体部(50)安装于放射屏蔽件(30)上。板主体部(50)具备：气体通过区域(56)，具有用于使在第2低温板(20)上冷凝之气体通过之复数个小孔；以及气体遮蔽区域(58)，在板主体部(50)上形成于与气体通过区域(56)不同的部位。 |
