| 摘要 |
本发明提供一种：防止「于基板研磨等时飞散至研磨台周围」的研磨液，附着于配置在研磨台周围的各种构成构件的表面而形成乾燥的研磨装置。本发明的研磨装置具有：「用来支承具有研磨面(10a)之研磨垫(10)」的研磨台(12)、和具有顶环(14)的顶环头(16)、和包围顶环头(16)的顶环头盖(24)、和具有修整器(20)的修整器头(22)、和包围修整器头(22)的修整器头盖(30a、30b、30c)、和「当顶环(14)位于基板收授位置时，对顶环(14)的上表面及顶环头盖(24)的外表面喷雾洗净液」的喷雾喷嘴(58、60、62)、及「当修整器(20)位于退避位置时，对修整器头盖(30a、30b、30c)的外表面喷雾洗净液」的喷雾喷嘴(62、64、66)。 |
