| 发明名称 |
物性的测量方法及测量装置 |
| 摘要 |
一种物性测量方法包含：藉由使用透射电子显微镜获得样品之实验聚束电子绕射图像；计算该实验聚束电子绕射图像之择尼克矩强度(Zernike moment intensity)；以及比较该实验聚束电子绕射图像之该择尼克矩强度与基于该样品之改变后的物性所计算之经计算的聚束电子绕射图像之择尼克矩强度。 |
| 申请公布号 |
TWI454692 |
申请公布日期 |
2014.10.01 |
| 申请号 |
TW100110043 |
申请日期 |
2011.03.24 |
| 申请人 |
富士通股份有限公司 日本 |
发明人 |
山崎贵司;添田武志 |
| 分类号 |
G01N23/20 |
主分类号 |
G01N23/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
洪武雄 台北市中正区杭州南路1段15之1号9楼;陈昭诚 台北市中正区杭州南路1段15之1号9楼 |
| 主权项 |
一种物性测量方法，包括下列步骤：以聚电子束照射于样品且基于布拉格散射获得该样品的实验绕射图案；计算该实验绕射图案之择尼克矩强度；以及比较该实验绕射图案之该择尼克矩强度与基于该样品之改变后的物性所计算之各理想绕射图案之择尼克矩强度。 |
| 地址 |
日本 |
