太阳能电池的制造方法

摘要

一种太阳能电池的制造方法，包含：(A)蚀刻一第一导电型基板，使其表面成为高低起伏状，并且还形成一电浆破坏层；(B)热扩散处理以形成一个第二导电型掺杂层，并将该电浆破坏层氧化而转变成一个氧化层，该热扩散处理的一个驱入阶段是在一驱入温度下持续一驱入时间，该驱入温度为800℃~950℃，该驱入时间为20分钟~50分钟；(C)利用湿式蚀刻方式移除氧化层；及(D)形成电极。透过改善该驱入阶段使电浆破坏层氧化，并利用热扩散处理之后的湿式蚀刻去除氧化层，使本发明可以省略热扩散处理前的湿式蚀刻，进而降低设备成本、有利于量产。

主权项

一种太阳能电池的制造方法，包含：提供一第一导电型基板；以乾式蚀刻法蚀刻该第一导电型基板的一表面；在该第一导电型基板内靠近该表面处形成一第二导电型掺杂层，于该第一导电型基板上靠近该表面侧形成一氧化层；以湿式蚀刻法移除该氧化层；及在该第一导电型基板上形成一电极。