发明名称 硅片插片机
摘要 本实用新型涉及一种硅片插片机,包括载片装置及辅助工装,所述载片装置设有多个可以移动的用以放置硅片的托盘,所述辅助工装设有与所述托盘相对设置的、位置可调的滑片台,所述硅片插片机还包括工装板,所述工装板具有能与所述托盘及滑片台相贴合的校准平面。利用工装板来实现校准对齐,当工装板同时与滑动台及托盘水平贴合时,即保证滑动台已经与载片装置对齐,这种方式较经验目测的校准对齐方式,极大提高了校准对齐的效率及准确度。
申请公布号 CN203859135U 申请公布日期 2014.10.01
申请号 CN201420175095.6 申请日期 2014.04.11
申请人 扬州协鑫光伏科技有限公司 发明人 刘小涛;周宏震;胡泽其
分类号 H01L31/18(2006.01)I;H01L21/673(2006.01)I;H01L21/68(2006.01)I 主分类号 H01L31/18(2006.01)I
代理机构 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 代理人 唐清凯
主权项 一种硅片插片机,包括载片装置及辅助工装,所述载片装置设有多个可以移动的用以放置硅片的托盘,所述辅助工装设有与所述托盘相对设置的、位置可调的滑片台,其特征在于,所述硅片插片机还包括工装板,所述工装板具有能与所述托盘及滑片台相贴合的校准平面。
地址 225131 江苏省扬州市八里镇金山路129号