发明名称 |
硅片插片机 |
摘要 |
本实用新型涉及一种硅片插片机,包括载片装置及辅助工装,所述载片装置设有多个可以移动的用以放置硅片的托盘,所述辅助工装设有与所述托盘相对设置的、位置可调的滑片台,所述硅片插片机还包括工装板,所述工装板具有能与所述托盘及滑片台相贴合的校准平面。利用工装板来实现校准对齐,当工装板同时与滑动台及托盘水平贴合时,即保证滑动台已经与载片装置对齐,这种方式较经验目测的校准对齐方式,极大提高了校准对齐的效率及准确度。 |
申请公布号 |
CN203859135U |
申请公布日期 |
2014.10.01 |
申请号 |
CN201420175095.6 |
申请日期 |
2014.04.11 |
申请人 |
扬州协鑫光伏科技有限公司 |
发明人 |
刘小涛;周宏震;胡泽其 |
分类号 |
H01L31/18(2006.01)I;H01L21/673(2006.01)I;H01L21/68(2006.01)I |
主分类号 |
H01L31/18(2006.01)I |
代理机构 |
广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 |
代理人 |
唐清凯 |
主权项 |
一种硅片插片机,包括载片装置及辅助工装,所述载片装置设有多个可以移动的用以放置硅片的托盘,所述辅助工装设有与所述托盘相对设置的、位置可调的滑片台,其特征在于,所述硅片插片机还包括工装板,所述工装板具有能与所述托盘及滑片台相贴合的校准平面。 |
地址 |
225131 江苏省扬州市八里镇金山路129号 |