载置台及电浆处理装置

摘要

提供一种可正确地独立被处理体之温度控制及聚焦环之温度控制的载置台。一种载置台,系具备基台、载置构件、聚焦环、第1电热构件及第2电热构件。基台系于其内部形成有冷媒流路。内面系连接有可施加电压的供电构件。表面由与表面正交之方向之方向观之,系于基台内部环状地形成具有底面的沟部。藉由沟部形成有该沟部内侧的圆柱状内侧基台部与该沟部外侧的环状外侧基台部。环状聚焦环系被外侧基台部支撑。聚焦环系于其内侧侧面具有以从正交于载置面的方向观之会包覆沟部的方式而朝径向内侧突出的凸部。第1电热构件系介设于载置面与冷媒流路之间,第2电热构件系介设于聚焦环与冷媒流路之间。