方形模具用基板;RECTANGULAR MOLD-FORMING SUBSTRATE

摘要

本发明的方形模具用基板，是在基板上形成凹凸的图型后所使用之方形的模具用基板，其特征为：形成凹凸的图型后所使用的面(A面)之中心的1~50mm×1~50mm平方的范围，且形成有凹凸之图型的领域的平坦度为350nm以下。根据本发明，可防止在方形模具用基板上制作图型时与转印时，图型位置变得不一致、或者产生图型误差，而能成为高精细且复杂之图型的转印。