交接位置教示方法、交接位置教示装置及基板处理装置;TRANSFER POSITION TEACHING METHOD AND APPARATUS, AND SUBSTRATE PROCESSING APPARATUSES

摘要

[课题]提供一种即使对现有之基板处理装置之机械手臂，也可正确地教示基板之交接位置之交接位置教示方法、交接位置教示装置及基板处理装置。[解决手段]交接位置教示装置系具备有教示用基板100，而该教示用基板100系具有与藉由基板处理装置所处理之半导体晶圆等之基板为相同之形状，且于其表面形成有导电性之涂层。此外，交接位置教示装置系具有于其上面形成有基准线21且于其表面形成有绝缘涂层之基部构件20。于基部构件20上，系立设有分别具有朝铅直方向延伸之柱状形状之入口用接点构件31、入口用接点构件32、Y方向用接点构件41、Y方向用接点构件42、及X方向用接点构件51。