| 摘要 |
Зонд для атомно-силовой микроскопии высокого разрешения, состоящий из прямоугольной балки, выполненной из монокристаллического кремния, с зондом (острием) ступенчатой формы на ее конце, отличающийся тем, что балка кантилевера имеет прямоугольную форму, нижняя сторона балки покрыта слоем золота для обеспечения электрического контакта к зонду (острию), зонд (острие) выполнен из углерода и состоит из 6 цилиндрических сегментов общей длиной 1,4 мкм, причем длина последнего сегмента составляет 0,7 мкм с радиусом закругления 30-40 нм. |
