Sensorvorrichtung zum Sensieren eines Gases, Verfahren zum Betreiben einer Sensorvorrichtung zum Sensieren eines Gases und Herstellungsverfahren für eine Sensorvorrichtung zum Sensieren eines Gases

摘要

Die Erfindung betrifft eine Sensorvorrichtung (100) zum Sensieren eines Gases, mit einem Erfassungsbereich (102) und einem über einen Verbindungssteg (106) mit dem Erfassungsbereich (102) elektrisch und mechanisch verbundenen Auslesebereich (104), wobei der Auslesebereich (104), der Erfassungsbereich (102) und der Verbindungssteg (106) aus einem Substrat gebildet sind und der Erfassungsbereich (102) und der Verbindungssteg (106) durch eine Ausnehmung (108) aus dem Substrat freigestellt sind, wobei der Erfassungsbereich (102) einen ionenleitenden Bereich zum Bereitstellen eines von dem Gas abhängigen Messsignals aufweist und der Auslesebereich (104) zum Auslesen des Messsignals ausgebildet ist.