Verfahren zum Herstellen eines Emitters

摘要

Verfahren zum Herstellen eines angespitzten, nadelförmigen Emitters, wobei das Verfahren umfasst: elektrolytisches Polieren eines End-Abschnittes von einem elektrisch leitfähigen Emitter-Material, derart, dass er in Richtung zu einem Spitzen-Abschnitt davon spitz zuläuft; Durchführen eines ersten Ätzens, bei welchem der elektrolytisch polierte Abschnitt des Emitter-Materials mit einem Ladungspartikelstrahl bestrahlt wird, um einen pyramidenförmigen, angespitzten Abschnitt auszubilden, welcher eine Spitze hat, welche den Spitzen-Abschnitt umfasst; Durchführen eines zweiten Ätzens, bei welchem der Spitzen-Abschnitt durch feldunterstütztes Gas-Ätzen weiter angespitzt wird, während ein Kristall-Aufbau am Spitzen-Abschnitt durch ein Feld-Ionen-Mikroskop beobachtet wird, und die Anzahl von Atomen an einer Vorderkante des Spitzen-Abschnitts auf eine vorbestimmte Anzahl oder weniger beibehalten wird; und Erwärmen des Emitter-Materials, um die Atome an der Vorderkante des Spitzen-Abschnitts des angespitzten Abschnitts zu einer Pyramiden-Form anzuordnen.