| 摘要 |
Die Erfindung schafft eine mikromechanische Sensorvorrichtung und ein entsprechendes Herstellungsverfahren. Die mikromechanische Sensorvorrichtung umfasst ein Substrat (1) mit einer Vorderseite (VS) und einer Rückseite (RS), wobei auf der Vorderseite (V) des Substrats (1) eine Mehrzahl von Säulen (S1, S2) gebildet ist. Auf jeder Säule ist ein jeweiliges Sensorelement (P1, P2) gebildet, das eine größere laterale Ausdehnung als die zugehörige Säule (S1, S2) aufweist, wobei seitlich der Säulen (S1, S2) unterhalb der Sensorelemente (P1, P2) ein Hohlraum (H) vorgesehen ist. Die Sensorelemente (P1, P2) sind durch jeweilige Trenngräben (G1, G2) lateral voneinander beanstandet und über die jeweilige zugehörige Säule (S1, S2) an einem jeweiligen zugehörigen Rückseitenkontakt (V6, E1; V7, E1) elektrisch kontaktiert. |
