| 发明名称 |
POLARIZATION-INFLUENCING OPTICAL ARRANGEMENT, IN PARTICULAR IN A MICROLITHOGRAPHIC PROJECTION EXPOSURE APPARATUS |
| 摘要 |
A polarization-influencing optical arrangement comprises a first retardation element and a second retardation element. |
| 申请公布号 |
KR20140113994(A) |
申请公布日期 |
2014.09.25 |
| 申请号 |
KR20147021054 |
申请日期 |
2013.01.11 |
| 申请人 |
CARL ZEISS SMT GMBH |
发明人 |
SANGER INGO;SCHLESENER FRANK |
| 分类号 |
G02B5/30;G03F7/20 |
主分类号 |
G02B5/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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