发明名称 超声换能器阵列的隐形切割
摘要 本发明涉及超声换能器阵列的隐形切割。一种采用隐形切割形成的超声换能器阵列。激光用于形成(20)压电基板(40)内部并且沿着期望槽缝位置的缺陷。沿着缺陷将基板(40)断裂(22)。可控膨胀(24),诸如使用热膨胀,可以被用于确立期望的槽缝宽度。垫片(58)可以被用于保持期望的槽缝宽度。填充(30)槽缝从而产生超声换能器阵列。
申请公布号 CN104064671A 申请公布日期 2014.09.24
申请号 CN201410091034.6 申请日期 2014.01.23
申请人 美国西门子医疗解决公司;西门子公司 发明人 S·施特格迈尔;J·萨普夫;陆宣明
分类号 H01L41/338(2013.01)I;H01L27/20(2006.01)I 主分类号 H01L41/338(2013.01)I
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人 吕传奇;胡莉莉
主权项 一种用于形成(20)超声换能器阵列的方法,所述方法包括:采用激光,沿着在陶瓷换能器基板(40)内的线形成(20)缺陷;在所述线处将所述陶瓷换能器基板(40)断裂(22)成所述超声换能器阵列的元件(46);热膨胀(24)所述元件(46)之间的缝隙;膨胀时,将垫片(58)插入(26)所述元件(46)之间的缝隙;采用所述缝隙内的垫片(58)热减小(28)所述缝隙;并且在所述减小(28)后采用槽缝填充物填充(30)所述缝隙。
地址 美国宾夕法尼亚州