发明名称 |
超声换能器阵列的隐形切割 |
摘要 |
本发明涉及超声换能器阵列的隐形切割。一种采用隐形切割形成的超声换能器阵列。激光用于形成(20)压电基板(40)内部并且沿着期望槽缝位置的缺陷。沿着缺陷将基板(40)断裂(22)。可控膨胀(24),诸如使用热膨胀,可以被用于确立期望的槽缝宽度。垫片(58)可以被用于保持期望的槽缝宽度。填充(30)槽缝从而产生超声换能器阵列。 |
申请公布号 |
CN104064671A |
申请公布日期 |
2014.09.24 |
申请号 |
CN201410091034.6 |
申请日期 |
2014.01.23 |
申请人 |
美国西门子医疗解决公司;西门子公司 |
发明人 |
S·施特格迈尔;J·萨普夫;陆宣明 |
分类号 |
H01L41/338(2013.01)I;H01L27/20(2006.01)I |
主分类号 |
H01L41/338(2013.01)I |
代理机构 |
中国专利代理(香港)有限公司 72001 |
代理人 |
吕传奇;胡莉莉 |
主权项 |
一种用于形成(20)超声换能器阵列的方法,所述方法包括:采用激光,沿着在陶瓷换能器基板(40)内的线形成(20)缺陷;在所述线处将所述陶瓷换能器基板(40)断裂(22)成所述超声换能器阵列的元件(46);热膨胀(24)所述元件(46)之间的缝隙;膨胀时,将垫片(58)插入(26)所述元件(46)之间的缝隙;采用所述缝隙内的垫片(58)热减小(28)所述缝隙;并且在所述减小(28)后采用槽缝填充物填充(30)所述缝隙。 |
地址 |
美国宾夕法尼亚州 |