一种终点侦测装置

摘要

本实用新型提供一种终点侦测装置，至少包含：光信号收集装置，包含一半球体部、一第一圆柱体部和一第二圆柱体部；所述光信号收集装置设有一开口朝向反应室外部的深孔，所述深孔的底部中心与半球体部的聚焦点相重合；光信号处理系统；光纤。在所述光信号收集装置上设置一置于反应室内的半球体部，可以使得光信号收集装置接收更多的光信号；在所述光信号收集装置上设有一开口朝向反应室外部的深孔，可以使得光纤的采光点的位置前移，最大限度地接收到更多的光信号。光信号收集装置接收并有效传输更多的光信号至光信号处理系统，可以大大提高对刻蚀终点侦测的准确性，从而避免了产品的报废和机台停机等问题的发生，大大提升了机台的利用率。

主权项

一种终点侦测装置，其特征在于，所述终点侦测装置至少包含：光信号收集装置，设置于一反应室侧壁上的安装孔内，所述光信号收集装置包含一半球体部、一第一圆柱体部和一第二圆柱体部，所述半球体部、第一圆柱体部和第二圆柱体部三者形成为一体，所述半球体部置于反应室内，所述第一圆柱体部置于所述安装孔内，所述第二圆柱体部置于反应室侧壁外侧，且所述第二圆柱体部的直径大于所述安装孔的直径；所述光信号收集装置设有一开口朝向反应室外部的深孔，所述深孔的底部中心与所述半球体部的聚焦点相重合；光信号处理系统，用于处理所述光信号收集装置收集的光信号；光纤，一端置于所述深孔底部，另一端与所述光信号处理系统相连接。