一种负压防泄漏层流罩

摘要

本实用新型涉及一种负压防泄漏层流罩，包括层流罩外壳、内壳和液槽密封过滤器，内壳密封设置在外壳内腔的底面上，液槽密封过滤器设置在内壳下方并与外壳内壁底部形成密封配合，液槽密封过滤器下方的外壳底部为出风面，外壳上设有负压管道，内壳上端设有送风管道。空调系统运行时，液槽密封过滤器与内壳之间形成正压空腔，内壳外壁与外壳内壁之间形成负压空腔。通过层流罩内增设负压空腔的方法，将从内壳的正压空腔和洁净室泄漏的空气引至负压空腔内，再经与其相接的负压管道抽回到空调系统回风管路中，从而有效避免因层流罩箱体密封不良而形成的空气渗漏影响洁净室的安全运行。

主权项

一种负压防泄漏层流罩，其特征是，包括层流罩外壳（1）、内壳（4）和液槽密封过滤器（2），所述的内壳（4）设置在外壳(1)内并与外壳(1)内壁底面密闭配合，液槽密封过滤器（2）设置在内壳（4）下方并且液槽密封过滤器（2）与外壳（1）内壁底部形成密封配合，液槽密封过滤器（2）下方的外壳（1）底部为出风面，外壳（1）上设置有与空调系统回风管路相连通的负压管道（5），内壳（4）上端设置有穿过外壳（1）与空调系统送风管路相连接的送风管道（3）；空调系统运行时，液槽密封过滤器（2）与内壳（4）之间形成正压空腔（8），内壳（4）外壁与外壳（1）内壁之间形成负压空腔（7），所述的送风管道（3）穿过外壳（1）、负压空腔（7）与内壳（4）连接并与正压空腔连通，所述的外壳（1）上设置的负压管道（5）与负压空腔（7）相连通；所述送风管道（3）、内壳（4）、液槽密封过滤器（2）和外壳（1）的底部出风面形成了层流罩的送风气流流径。