| 摘要 |
Датчик для вимірювання температури, виготовлений у вигляді чипа, містить в собі чутливий шар напівпровідникового матеріалу з омічними контактами, корпус якого складається з основи та кришки, електричних виводів для монтажу в вимірювальних колах. Чутливий елемент виконаний у вигляді епітаксійної плівки SiC, вирощеної на підкладці сапфіру. До сторони SiC сформовані омічні контакти Ті-Мо-Au, які мають топологію двох гребінок, до яких приєднані гнучкі балочні виводи. Чутливий елемент за допомогою гнучких балочних виводів закріплений в діелектричному корпусі з металізованими торцевими поверхнями та з двох сторін герметично закритими електро- та теплопровідними кришками. |
