发明名称 |
垂直型LED的制作方法 |
摘要 |
本发明提出了一种垂直型LED的制作方法,刻蚀现有的未掺杂层作为电流阻挡层,无需额外形成绝缘介质层,减少了工艺步骤,降低生产成本,同时,形成的电流阻挡层能够在大电流下提高垂直型LED的电流扩展,使电流分布均匀,从而提高垂直型LED的发光强度。 |
申请公布号 |
CN104064642A |
申请公布日期 |
2014.09.24 |
申请号 |
CN201410318634.1 |
申请日期 |
2014.07.04 |
申请人 |
映瑞光电科技(上海)有限公司 |
发明人 |
张宇;童玲;张琼;吕孟岩;张楠 |
分类号 |
H01L33/00(2010.01)I;H01L33/14(2010.01)I |
主分类号 |
H01L33/00(2010.01)I |
代理机构 |
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 |
代理人 |
郑玮 |
主权项 |
一种垂直型LED的制作方法,包括步骤:提供生长衬底,在所述生长衬底上形成有外延层,所述外延层包括未掺杂层;在所述外延层表面依次形成金属电极和键合衬底;剥离所述生长衬底,暴露出所述未掺杂层;刻蚀所述未掺杂层,保留部分未掺杂层作为电流阻挡层;形成N电极,所述N电极覆盖所述保留的未掺杂层,并且与所述外延层形成欧姆接触。 |
地址 |
201306 上海市浦东新区临港产业区鸿音路1889号 |